| 发明名称 |
ARRAY OF INTEGRATED MICROMECHANICAL SENSOR ELEMENTS, WHICH ARE ADAPTED TO RESPOND TO RADIATION, AND METHOD OF MAKING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0645055(B1) |
申请公布日期 |
2001.08.08 |
| 申请号 |
EP19920914932 |
申请日期 |
1992.06.11 |
| 申请人 |
HONEYWELL INC. |
发明人 |
HIGASHI, ROBERT, E.;JOHNSON, ROBERT, G. |
| 分类号 |
G01J1/02;G01J5/02;G01J5/20;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/146;H01L27/16;H01L31/08;H01L37/02;(IPC1-7):H01L31/08 |
主分类号 |
G01J1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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