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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Widerständen für integrierte Schaltkreise unter Verwendung von Gräben
摘要
申请公布号 DE69427554(D1) 申请公布日期 2001.08.02
申请号 DE19946027554 申请日期 1994.03.08
申请人 NORTEL NETWORKS LTD., MONTREAL 发明人 BOYD, JOHN M.;ELLUL, JOSEPH P.;TAY, SING P.
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L27/08;(IPC1-7):H01L21/320;H01L29/86;H01L27/11 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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