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发明名称 Vorrichtung zur Kontrolle von Halbleiterscheiben
摘要
申请公布号 DE59509360(D1) 申请公布日期 2001.08.02
申请号 DE19955009360 申请日期 1995.04.20
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 BIEDERMAN, ERNST;BEN EL MEKKI, MANFRED;WEISHEIT, KENNETH;GRIEBSCH, THOMAS;ROSS, GERHARD
分类号 G01N21/88;G01R31/311;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
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