ELEVATED STATIONARY UNIFORMITY RING,申请号KR1020017002408-传众专利搜索

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发明名称	ELEVATED STATIONARY UNIFORMITY RING
摘要
申请公布号	KR20010072968(A)	申请公布日期	2001.07.31
申请号	KR1020017002408	申请日期	2001.02.26
申请人		发明人
分类号	H01L21/3065	主分类号	H01L21/3065
代理机构		代理人
主权项
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