发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR REDUCING CHARGE ACCUMULATION ON A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20010071719(A) 申请公布日期 2001.07.31
申请号 KR1020017000058 申请日期 2001.01.03
申请人 发明人
分类号 H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
地址