发明名称 METHOD AND ARRANGEMENT FOR OPTICALLY DETECTING THE POSITION OF A MOVEABLE MIRROR
摘要 Ein Verfahren dient zur optischen Positionsbestimmung eines bewegbaren Messobjektes (10), insbesondere eines Spiegels oder Reflektors, wobei ein mittels einer Lichtquelle (2) erzeugter Messstrahl (6) vom Messobjekt (10) reflektiert wird und auf einen positionsempfindlichen Lichtdetektor (12) gelangt, mittels welchem eine Umwandlung in eine der Position des Messobjekts (10) entsprechende Information durchgeführt wird. Es liegt die Aufgabe zugrunde, das Verfahren dahingehend auszubilden, dass eine schnelle optische Messung der Position von Spiegeln, insbesondere Drehspiegeln, mit einem einfachen optischen Aufbau realisierbar ist. Zur Lösung der Aufgabe wird vorgeschlagen, dass der Messstrahl (6) mittels eines optischen Systems (8) auf den Lichtdetektor (12) fokussiert wird und dass aus den mittels des Lichtdetektors (12) erhaltenen Messwerten ein dem Schwerpunkt oder dem Maximum (Is) der Intensitätsverteilung des fokussierten Messspots entsprechendes Signal bestimmt wird.
申请公布号 WO0153778(A1) 申请公布日期 2001.07.26
申请号 WO2001EP00577 申请日期 2001.01.18
申请人 发明人 VOGLER, SVEN;KAPLAN, ROLAND;WEIKERT, ROBERT;WIJNAENDTS-VAN-RESANDT, ROELOF
分类号 G01B11/00;G01D5/26;G01D5/28;G01D5/30;G01M11/00;G02B26/08;G02B26/10;(IPC1-7):G01D5/30 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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