发明名称 |
SCANNING USING POSITION TRANSMISSION FOR TRIGGERING THE RECORDING OF MEASURED VALUES |
摘要 |
Bei der Messung von Oberflächentopologien in mikroskopischer Auflösung wird über einen Software-Befehl (2, 3) der start der Verfahrbewegung veranlasst. In diskreten Ortsabständen werden über einen Positionsgeber Trigger-Impulse erzeugt, die zur Triggerung der Messwertaufnahme an dem Sensor (1) dienen. Die erhaltenen Messwerte werden gespeichert und dann asynchron zum Controller (4) übertragen.
|
申请公布号 |
WO0153775(A1) |
申请公布日期 |
2001.07.26 |
申请号 |
WO2001DE00089 |
申请日期 |
2001.01.11 |
申请人 |
OM ENGINEERING GMBH;VALENTIN, JUERGEN;GRIGAT, MARCUS;SCHREIER, HANS-HERMANN |
发明人 |
VALENTIN, JUERGEN;GRIGAT, MARCUS;SCHREIER, HANS-HERMANN |
分类号 |
G01B11/00;G01B21/30;(IPC1-7):G01B21/30;G01D9/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|