发明名称 SCANNING USING POSITION TRANSMISSION FOR TRIGGERING THE RECORDING OF MEASURED VALUES
摘要 Bei der Messung von Oberflächentopologien in mikroskopischer Auflösung wird über einen Software-Befehl (2, 3) der start der Verfahrbewegung veranlasst. In diskreten Ortsabständen werden über einen Positionsgeber Trigger-Impulse erzeugt, die zur Triggerung der Messwertaufnahme an dem Sensor (1) dienen. Die erhaltenen Messwerte werden gespeichert und dann asynchron zum Controller (4) übertragen.
申请公布号 WO0153775(A1) 申请公布日期 2001.07.26
申请号 WO2001DE00089 申请日期 2001.01.11
申请人 OM ENGINEERING GMBH;VALENTIN, JUERGEN;GRIGAT, MARCUS;SCHREIER, HANS-HERMANN 发明人 VALENTIN, JUERGEN;GRIGAT, MARCUS;SCHREIER, HANS-HERMANN
分类号 G01B11/00;G01B21/30;(IPC1-7):G01B21/30;G01D9/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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