SPUTTER CHAMBER AND VACUUM TRANSPORT CHAMBER AND VACUUM TREATMENT INSTALLATIONS WITH CHAMBERS OF THIS TYPE
摘要
<p>In einer Sputterkammer ist ein Substratträger (5) um eine Achse (A) getrieben drehbeweglich montiert. Mit einer Zentralachse (Z) zur Drehachse des Substratträgers (5) geneigt (β) ist in der Sputterkammer eine Magnetronquelle montiert.</p>
