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发明名称
INTEGRATED ELECTRON GUN AND ELECTRONICS MODULE
摘要
申请公布号
EP1118093(A1)
申请公布日期
2001.07.25
申请号
EP20000955266
申请日期
2000.07.28
申请人
ETEC SYSTEMS, INC.
发明人
PRIOR, RICHARD
分类号
H01J37/248;(IPC1-7):H01J37/248
主分类号
H01J37/248
代理机构
代理人
主权项
地址
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