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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING INSULATING FILM OF FLUORINE-ADDED CARBON FILM AND METHOD OF PRODUCING THE SAME
摘要
申请公布号 IL137212(D0) 申请公布日期 2001.07.24
申请号 IL19990137212 申请日期 1999.01.08
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人
分类号 C23C16/26;C23C16/30;C23C16/56;H01L21/312;H01L21/768;(IPC1-7):H01L 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
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