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发明名称 VERFAHREN ZUM ERZEUGEN VON BEWEGUNG UND KRAFT DURCH KONTROLLE DER DOPPELSTRUKTUR EINES MATERIALS UND SEINE ANWENDUNG
摘要
申请公布号 DE69613374(D1) 申请公布日期 2001.07.19
申请号 DE19966013374 申请日期 1996.07.11
申请人 ULLAKKO, KARI MARTTI 发明人 ULLAKKO, KARI MARTTI
分类号 B25J7/00;B25J19/00;B81C99/00;H01L41/12;H01L41/16;H01L41/20;H02N2/04;H02N11/00;(IPC1-7):H01L41/00 主分类号 B25J7/00
代理机构 代理人
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