PHYSICAL VAPOR PROCESSING OF A SURFACE WITH NON-UNIFORMITY COMPENSATION,申请号EP19990935293-传众专利搜索

首页产品黄页商标征信

会员服务注册登录

法人/股东/高管

发明名称	PHYSICAL VAPOR PROCESSING OF A SURFACE WITH NON-UNIFORMITY COMPENSATION
摘要
申请公布号	EP1114436(A2)	申请公布日期	2001.07.11
申请号	EP19990935293	申请日期	1999.07.20
申请人	TOKYO ELECTRON LIMITED;TOKYO ELECTRON LTD	发明人	LICATA, THOMAS, J.;HURWITT, STEVEN, D. DI
分类号	C23C14/35;C23C14/02;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/34	主分类号	C23C14/35
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利

Affugtningsindretning

Kredsløbsarrangement med et effektmodul, som er kombineret med et kredsløbskort

Natriummetaarsenit til anvendelse til behandling af metastatiske neoplastiske sygdomme

3,4-Disubstituerede 1H-pyrazolforbindelser og deres anvendelse som cyclinafhængige kinaser (CDK) og glykogensynthasekinase-3-(GSK)-modulatorer

Plade-varmeveksler med en adskillelsesfunktion med hensyn til kondenseret fluidum og fremgangsmåde til dens fremstilling

SYSTEM OG FREMGANGSMÅDE TIL EN PROGRAMMERBAR MULTIMEDIACONTROLLER

Styreindretning

SLÆBEHOVED TIL ET SLÆBESUGNINGSFARTØJ OG FREMGANGSMÅDE TIL UDDYBNING VED ANVENDELSE AF DETTE SLÆBEHOVED

EGFR-INHIBITOR-BEHANDLINGSMARKØR

PUERTA ADAPTADA PARA CERRAR UNA CAMARA DE COCCION DE UN HORNO DOMESTICO.

Elemento de ajuste de excéntrica

inner structure of packing box having dented portion

reinforced hanger structure of packing box

Dispositivo y método de grabación de datos, dispositivo y método de reproducción de datos, medio de grabación de información, medio que contiene un programa, y programa

Agentes de unión específicos de angiopoyetina-2 y angiopoyetina-1

Procedimiento para la producción de polioles

Confitura helada

Suelo para un vehículo automóvil

Método y sistema para formar muelles helicoidales dispuestos en receptáculos

Implante dental