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发明名称 Method of manufacturing semiconductor device having capacitor
摘要
申请公布号 EP0725430(B1) 申请公布日期 2001.07.11
申请号 EP19960101154 申请日期 1996.01.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION 发明人 NAGANO, YOSHIHISA;FUJII, EIJI
分类号 H01L21/3213;H01L21/302;H01L21/02;H01L21/3065;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/04;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/321 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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