发明名称 SEMICONDUCTOR PROCESSING METHOD AND GATE STACK
摘要
申请公布号 EP1114444(A1) 申请公布日期 2001.07.11
申请号 EP19990942555 申请日期 1999.08.31
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 YIN, ZHIPING;IYER, RAVI;GLASS, THOMAS, R.;HOLSCHER, RICHARD;NIROOMAND, ARDAVAN;SOMERVILLE, LINDA, K.;SANDHU, GURTEJ, S.
分类号 H01L21/027;H01L21/28;H01L21/311;H01L21/318;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L23/52;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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