| 发明名称 |
METHOD OF AND APPARATUS FOR SEALING AN HERMETIC LID TO A MICROELECTRONIC MACHINE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1113982(A2) |
申请公布日期 |
2001.07.11 |
| 申请号 |
EP19990935986 |
申请日期 |
1999.07.28 |
| 申请人 |
SILICON LIGHT MACHINES, INC. |
发明人 |
SHOOK, JAMES, GILL |
| 分类号 |
H01L23/02;B81B7/00;H01L21/00;H01L21/50;H01L23/10;(IPC1-7):B81B7/00;G02B5/18;G02B26/08 |
主分类号 |
H01L23/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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