REDUKTION DES METALLIONENSGEHALTES IN NOVOLAKHARZEN MIT EINEM IONENAUSTAUSCHHARZ IN EINEM POLAREN LÖSUNGSMITTEL, UND PHOTORESISTZUSAMMENSETZUNGEN MIT DIESEN NOVOLAKEN
摘要
申请公布号
DE69521147(D1)
申请公布日期
2001.07.05
申请号
DE1995621147
申请日期
1995.12.21
申请人
CLARIANT FINANCE (BVI) LTD., ROAD TOWN
发明人
RAHMAN, DALIL;AUBIN, P.;KHANNA, N.;MCKENZIE, DOUGLAS
