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发明名称 Compliant wafer prober docking adapter
摘要
申请公布号 GB2323486(B) 申请公布日期 2001.07.04
申请号 GB19980001167 申请日期 1998.01.20
申请人 * HEWLETT-PACKARD COMPANY;* AGILENT TECHNOLOGIES, INC. 发明人 JULIUS K * BOTKA;DAVID R * VETERAN
分类号 G01R1/06;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
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