改良式双套管

摘要

一种改良式双套管，包括一内管、一外管、一第一接合端、一第二接合端以及一气体外泄侦测装置。该气体外泄侦测装置包括一压力指示计，一帮浦导管以及一个或复数个阀门。当改良式双套管于现场装设完成后，藉由涡轮分子式帮浦与乾式帮浦的抽气效率，使改良式双套管之内管与外管间达到最佳的真空度。上述程序完成后，一种或多种气体透过第一接合端导入改良式双套管，而后藉由第二接合端与反应室之管路接合，并经由内管输送至反应室;当改良式双套管的内管发生泄漏时，可经由压力指示计的读数得知发生气体外泄。

主权项

1.一种双套管,该双套管至少包含:一内管,用以输送至少一种气体;一外管,用以环绕包覆于该内管之外围,且该内管与该外管之两端分别密合于第一端与第二端;一帮浦导管,与该外管接合,并配合一帮浦,用以将该内管与该外管间之气体抽离;以及一阀门,用以控制该帮浦导管之开启/闭合。2.如申请专利范围第1项之双套管,更包含:一第一接合端,用以接合该第一端,且该第一接合端另与一气体输送入口端接合;以及一第二接合端,用以接合该第二端,且该第二接合端另与一气体输送出口端接合。3.如申请专利范围第1项之双套管,其中上述之帮浦导管更与一压力指示计偶合,以侦测该内管与该外管间之气体压力。4.如申请专利范围第1项之双套管,其中上述之帮浦为涡轮分子式帮浦。5.一种用于气体输送之双套管,该双套管至少包含:一内管,用以输送至少一种气体;一外管,用以环绕包覆于该内管之外围,且该内管与该外管之两端分别密合于第一端与第二端;一第一接合端,用以接合该第一端,且该第一接合端另与一气体输送入口端接合;一第二接合端,用以接合该第二端,且该第二接合端另与一气体输送出口端接合;一帮浦导管,与该外管接合,并配合一帮浦,用以将该内管与该外管间之气体抽离;以及一阀门,用以控制该帮浦导管之开启/闭合。6.如申请专利范围第5项之双套管,其中上述之帮浦导管更与一压力指示计偶合,以侦测该内管与该外管间之气体压力。7.如申请专利范围第5项之双套管,其中上述之帮浦为涡轮分子式帮浦。8.一种用于气体输送之双套管,该双套管至少包含:一内管,用以输送至少一种气体;一外管,用以环绕包覆于该内管之外围,且该内管与该外管之两端分别密合于第一端与第二端;一第一接合端,用以接合该第一端,且该第一接合端另与一气体输送入口端接合;一第二接合端,用以接合该第二端,且该第二接合端另与一气体输送出口端接合;以及一气体外泄侦测装置,利用一帮浦导管与该外管接合,并配合一帮浦,将该内管与该外管间之气体抽离,该帮浦导管之开启/闭合系利用一阀门加以控制。9.如申请专利范围第8项之双套管,其中上述之帮浦导管更与一压力指示计偶合,以侦测该内管与该外管间之气体压力。10.如申请专利范围第8项之双套管,其中上述之帮浦为涡轮分子式帮浦。图式简单说明:第一图为习知双套管之侧面图;第二图为本发明所揭露之改良式双套管的侧面图;第三图为本发明所揭露之改良式双套管,配合一气体供应槽与一反应室的配置图。