| 主权项 |
1.一种针座式步进机之微粒清除装置,包括:一磨石,其中,该磨石藉由在一针式座台上移动而将附着在该针式座台表面上之微粒扫落至该针式座台之针体间隙中;一真空吸微粒装置,其中,该真空吸微粒装置设置在该磨石边缘,当该磨石在该针式座台表面移动时,可经由该真空吸微粒装置吸离在该针体间隙中及在一步进机预封位梢与该针式座台间之死角处之微粒;以及一真空马达,其中,该真空马达连接至该真空吸微粒装置以产生该真空吸微粒装置之真空吸力。2.一种针座式步进机之微粒清除装置,包括:一磨石,其中,该磨石藉由在一针式座台上移动而将附着在该针式座台表面上之微粒扫落至该针式座台之针体间隙中;一真空吸微粒装置,其中,该真空吸微粒装置设置在该磨石边缘,以及该真空吸微粒装置包括一双层真空吸管,该双层真空吸管进一步包括一具有接头之上真空吸管及复数个具有复数个吸也之下真空吸管,其中,该些下真空吸管彼此间隙一足以容纳一步进机预对位梢的间距而且上真空吸管与该些下真空吸管相通,当该磨石在该针式座台表面移动以及该预对位梢卡入该下真空吸管间距时,可依序经由该些吸孔、该些下真空吸管及该上真空吸管吸离在该针体间隙中以及在该预对位梢与该针式座台间之死角处之微粒;以及一真空马达,其中,该真空马达经由该接头连接至该真空吸微粒装置以产生该真空吸微粒装置之真空吸力。3.如申请专利范围第2项所述之针座式步进机之微粒清除装置,其中,该上真空吸管及该下真空吸管的直径约为0.4-0.5cm。4.如申请专利范围第2项所述之针座式步进机之微粒清除装置,其中,该些吸孔之内径约为1.5-3m。图式简单说明:第一图A显示一习知针式座台的截面及采用此习知针式座台的问题;第一图B显示一习知针式座台与一步进机预对位梢间的死角;第二图A系根据本创作一较佳实施例显示一微粒清除装置的上视图;第二图B系根据本创作一较佳实施例显示一微粒清除装置的下视图;第二图C系根据本创作一较佳实施例显示一微粒清除装置的侧视图;第三图系根据本创作一较佳实施例显示微粒清除装置的运作图;第四图A系根据本创作一较佳实施例显示微粒清除装置与步进机预对位梢的相对位置图;以及第四图B系根据第四图A显示微粒清除装置与步进机预对位梢的相对位置放大图。 |
