发明名称 INxGa1-xP STOP-ETCH LAYER FOR SELECTIVE RECESS OF GALLIUM ARSENIDE-BASED EPTITAXIAL FIELD EFFECT TRANSISTORS AND PROCESS THEREFOR
摘要
申请公布号 KR20010052109(A) 申请公布日期 2001.06.25
申请号 KR1020007005795 申请日期 2000.05.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/338 主分类号 H01L21/338
代理机构 代理人
主权项
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