Zellsubstrat, Flüssigkristall-Zelle, Flüssigkristall-Display und Verfahren zur Herstellung einer Elektrode

摘要

Die Erfindung betrifft ein Zellsubstrat, das umfaßt ein Harzsubstrat, das einen auf 0,1 Gew.-% oder weniger verringerten Gehalt an flüchtiger Komponente aufweist, und einen Abscheidungsfilm, der ein transparentes Elektrodenmaterial umfaßt, beispielsweise einen ITO-Abscheidungsfilm, der auf mindestens eine Seite des Harzsubstrats aufgebracht ist. Die nachteiligen Einflüsse der flüchtigen Komponenten des während der Abscheidung verdampften Harzsubstrats werden ausgeschlossen, so daß das resultierende Zellsubstrat eine gute Haftung zwischen dem Harzsubstrat und dem Abscheidungsfilm und einen niedrigen spezifischen Oberflächenwiderstand bei einer geringen Streuung aufweist.