得自纤维素粘合剂的快速蚀刻、热固性抗反射涂料

摘要

公开了抗反射组合物,它由纤维素粘合剂和烷基化氨基塑料交联剂制得,所述氨基塑料交联剂得自蜜胺、脲、苯胍胺或甘脲。这些组合物用来形成抗反射底层,当用于多层光致抗蚀剂工艺时具有高度的等离子蚀刻选择性。

主权项

1．一种改进的抗反射涂料组合物，它包含：a)溶剂溶解性纤维素粘合剂，选自纤维素酯和纤维素醚；b)烷基化氨基塑料交联剂，得自蜜胺、脲、苯胍胺或甘脲；c)酸催化剂或潜在的酸催化剂，它一旦加热即产生催化活性的酸物质；d)溶剂媒介物，它具有对氨基塑料和纤维素粘合剂的高溶解能力和有效的表面润湿和蒸发性能，以得到用于微石印工艺的涂层厚度为0.05-0.20微米的无缺陷涂层质量和细部覆盖性。