发明名称 rack for use in substrate plating device
摘要 <p>본 발명은 기질 회로필름의 도금과정 등에서 기질을 도금셀내에 고정 및 전기접속시키는 기질 도금장치용 랙을 개시한다. 본 발명은 도금셀의 내부에 분리 가능하게 결합되며, 기질의 일측면을 접촉 지지하는 베이스 플레이트와, 이 베이스 플레이트상에 위치된 기질이 도금용액에 노출되도록 창을 구비하여 기질의 타측면 가장자리를 접촉 지지하는 그리퍼로 구성된다. 그리퍼의 기질 접촉면에는 음전위가 인가되는 구리 도전막이 형성된다. 그리고 베이스 플레이트와 그리퍼의 상호 대응하는 네 코너부에는 양자를 상호 접촉 고정시키는 복수쌍의 영구자석이 각각 매립된다. 기질과 접속되는 그리퍼의 접점부만 제외하고 베이스 플레이트와 그리퍼의 전표면은 내화학성 절연물로 피복된다. 따라서 본 발명은, 기질의 탈·부착을 용이하면서도 신속하게 수행할 수 있게 된다. 또한 구조가 간단하여 제작이 용이하고, 제작비용을 절감할 수 있음은 물론 도금용액의 흐름 방해도 최소화 할 수 있게 된다.</p>
申请公布号 KR100293238(B1) 申请公布日期 2001.06.15
申请号 KR19990023827 申请日期 1999.06.23
申请人 null, null 发明人 황길남;이지용;신동우
分类号 H01L21/50 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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