发明名称 METHOD FOR QUALITY CONTROL OF MATERIAL LAYERS
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Qualitätskontrolle von Materialschichten (7), wobei die Oberfläche der Schicht mit elektromagnetischer Strahlung (8) bestrahlt wird und die Menge des von der Materialschicht ausgestrahlten Lichtes (9), beispielsweise Reflexionsstrahlung und/oder Fluoreszenzstrahlung, bestimmt wird, und wobei das Material der Schicht mit einem die Strahlung absorbierenden Stoff versehen wird.</p>
申请公布号 WO2001042772(A1) 申请公布日期 2001.06.14
申请号 EP2000012105 申请日期 2000.12.01
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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