磁控溅射泡沫镍卷绕镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种磁控溅射泡沫镍卷绕镀膜机,它包括一个形状为圆形或方形的单室型真空室;一个设在真空室内的驱动车;一对设在真空室内的放、收卷辊;数对设在真空室内的磁控靶;放卷辊与收卷辊上卷绕有被镀基材,放卷辊与收卷辊间的被镀基材之间设有传动链条或带及多个导辊;在真空室内,被镀基材由放卷辊匀速通过每对靶的中间位置,连续传送到收卷辊上,这些靶溅射的金属材料沉积在基材上,形成附着牢固,厚度均匀的镍或其他金属薄膜。

主权项

1、一种磁控溅射泡沫镍卷绕镀膜机，其特征在于它包括：一个形状为圆形或方形的单室型真空室(2)；一个设在真空室(2)内的驱动车(5)；一对设在真空室(2)内的放、收卷辊(3)、(4)；数对设在真空室(2)内的磁控靶(9)。