| 发明名称 |
Rotating device for plasma immersion supported treatment of substrates |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU734117(B2) |
申请公布日期 |
2001.06.07 |
| 申请号 |
AU19990017480 |
申请日期 |
1998.10.26 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH G.M.B.H |
发明人 |
RONALD NEIDHARDT;JEANNE FORGET;KARL KOHLHOF;SIEGMAR SCHOSER |
| 分类号 |
C23C14/48;C23C14/50;C23C16/458;(IPC1-7):C23C14/50;C23C8/36;H01J37/32 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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