磁场阴极

摘要

一种用于电弧放电蒸发器的磁场阴极，具有扁平结构的靶体和与其匹配的、至少有一个环形线圈和一个永久磁铁的装置，用于产生使电弧保持在靶体表面上的磁场，还具有一个位于内部配置在靶体中心的环形线圈和一个位于外部配置在靶体周围区域的环形线圈，位于内部的环形线圈围绕安装在靶体中心的永久磁铁，并与该永久磁铁一起组成磁力线聚焦器，一个用于再调整环形线圈所产生的磁场强度的装置依据靶体的侵蚀情况进行再调整。

主权项

1．用于电弧放电蒸发器的磁场阴极，具有一个扁平结构的靶体和一个与靶体匹配的、至少有一个环形线圈和一个永久磁铁的装置，用于产生一个使电弧保持在靶体表面上的磁场，还具有一个内部配置在靶体中心的环形线圈(2)和一个外部配置在靶体周围区域的环形线圈(3)，并且内部的环形线圈(2)围绕一个安装在靶体中心的永久磁铁(4)，并与该永久磁铁(4)一起组成一个磁力线聚焦器，其特征在于：配置了一个用于再调整环形线圈(2、3)所产生的磁场强度的装置，该装置依据靶体的侵蚀情况进行再调整。