发明名称 Sondenkarte zur Messung von äußerst niedrigen Strömen
摘要
申请公布号 DE19648949(C2) 申请公布日期 2001.05.31
申请号 DE19961048949 申请日期 1996.11.26
申请人 CASCADE MICROTECH, INC. 发明人 SCHWINDT, RANDY J.
分类号 G01R1/073;G01R1/18;G01R31/02;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28;G01R19/00;G01R15/00 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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