紫外线照射装置

摘要

本发明之课题为:使藉由紫外线所产生之反应生成物不会附着于窗构件，来防止紫外线放射强度低下，进而防止由该反应生成物而造成尘屑的生成。本发明之解决手段，系对于使介电势垒放电灯2配置于容器l内部，在该容器l内形成有让紫外线从前述介电势垒放电灯2放射而透出之窗构件3之紫外线照射装置中，设有将前述窗构件加热至100℃以上之加热手段(参考第l图所示)。

主权项

1.一种紫外线照射装置,其特征为:使介电势垒放电灯配置于容器内部,在该容器内形成有让紫外线从前述介电势垒放电灯放射而透出之窗构件,且设有将前述窗构件加热至100℃以上之加热手段。2.如申请专利范围第1项之紫外线照射装置,其中前述加热手段,系设于紫外线照射装置内。3.如申请专利范围第2项之紫外线照射装置,其中前述加热手段,为形成于窗构件之表面的厚膜加热器。4.如申请专利范围第2项之紫外线照射装置,其中前述加热手段,为形成于窗构件之表面的线状加热器。5.如申请专利范围第2项之紫外线照射装置,其中前述加热手段,系为白热灯泡。图式简单说明:第一图是本发明之紫外线照射装置的说明图。第二图是使用厚膜加热器作为加热手段之窗构件的说明图。第三图是使用微细加热器作为加热手段之窗构件的说明图。第四图是使用白热灯泡作为加热手段之窗构件的说明图。第五图是受窗构件之温度的影响下,反应生成物之附着对紫外线透过率之变化的实验资料。