METHOD OF DEPOSITING SILICON WITH HIGH STEP COVERAGE,申请号KR1020007009897-传众专利搜索

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发明名称	METHOD OF DEPOSITING SILICON WITH HIGH STEP COVERAGE
摘要
申请公布号	KR20010041680(A)	申请公布日期	2001.05.25
申请号	KR1020007009897	申请日期	2000.09.06
申请人		发明人
分类号	C23C16/44	主分类号	C23C16/44
代理机构		代理人
主权项
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