发明名称 GAS MANIFOLD FOR UNIFORM GAS DISTRIBUITION AND PHOTOCHEMISTRY
摘要
申请公布号 KR20010043928(A) 申请公布日期 2001.05.25
申请号 KR1020007013472 申请日期 2000.11.29
申请人 发明人
分类号 C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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