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发明名称 RECOVERY OF PERFLUORINATED COMPOUNDS FROM THE EXHAUST OF SEMICONDUCTOR FABS USING MEMBRANE AND ADSORPTION IN SERIES
摘要
申请公布号 SG80623(A1) 申请公布日期 2001.05.22
申请号 SG19990001943 申请日期 1999.04.26
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC 发明人 YANG JAMES HSU-KUANG;CHERNYAKOV IOSIF;HSIUNG THOMAS HSIAO-LING;SCHWARZ ALEXANDER
分类号 B01D53/14;B01D53/22;(IPC1-7):B01D53/22 主分类号 B01D53/14
代理机构 代理人
主权项
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