发明名称 Einrichtung für die Verhinderung von Überschlägen in Vakuum-Zerstäubungsanlagen
摘要
申请公布号 DE4233720(C2) 申请公布日期 2001.05.17
申请号 DE19924233720 申请日期 1992.10.07
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG 发明人 STUERMER, JOHANN;LUEBBEHUSEN, MICHAEL;THORN, GERNOT
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34;C23C14/54 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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