发明名称 Device for particle-optical illumination and imaging comprising a single field condensor-objective lens
摘要
申请公布号 CZ20003401(A3) 申请公布日期 2001.05.16
申请号 CZ20000003401 申请日期 2000.09.18
申请人 LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH 发明人 BENNER GERD DR.
分类号 H01J37/141;H01J37/04;H01J37/10;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/10 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
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