| 发明名称 |
Exposure device for a stripe-like workpiece |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0990612(A3) |
申请公布日期 |
2001.05.16 |
| 申请号 |
EP19990119242 |
申请日期 |
1999.09.28 |
| 申请人 |
USHIODENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
TAKANO, ITARU |
| 分类号 |
B65H23/032;B65H20/18;B65H23/188;G03F7/20;(IPC1-7):B65H20/18;B65H20/36 |
主分类号 |
B65H23/032 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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