| 发明名称 |
Ultrasonic metal finishing |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU3078001(A) |
申请公布日期 |
2001.05.14 |
| 申请号 |
AU20010030780 |
申请日期 |
2000.10.31 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
RUSSELL MANCHESTER;KENNETH PFEIFFER;DON TITEL;WAYNE WHEATLEY;TODD SHARPE;STEVE LIN;HONG YUN WANG COTTLE |
| 分类号 |
C23C16/44;C23F1/00;C23F1/36 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
