| 发明名称 |
Method and apparatus for semiconductor cleaning |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU1073101(A) |
申请公布日期 |
2001.05.10 |
| 申请号 |
AU20010010731 |
申请日期 |
2000.10.04 |
| 申请人 |
SPEED-FAM-IPEC CORPORATION |
发明人 |
JAMES B. SUNDIN;RICHARD S. TIRENDI;PAUL W. DRYER |
| 分类号 |
B08B3/00;B08B3/04;B08B3/12;C11D11/00;H01L21/00 |
主分类号 |
B08B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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