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发明名称 Methods and apparatus for splitting, imaging, and measuring wavefronts in interferometry
摘要
申请公布号 AU7752600(A) 申请公布日期 2001.05.10
申请号 AU20000077526 申请日期 2000.10.04
申请人 METROLASER, INC. 发明人 JAMES E. MILLERD;NEAL J. BROCK
分类号 G01B9/02;G01J9/02;G01N21/45 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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