发明名称
摘要
申请公布号 JP3163347(B2) 申请公布日期 2001.05.08
申请号 JP19920208685 申请日期 1992.08.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/203;C30B23/02;C30B25/16;H01L21/205;H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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