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发明名称 LITHOGRAPHISCHER PROJEKTIONSAPPARAT ZUR ABTASTBELICHTUNG
摘要
申请公布号 DE69703076(T2) 申请公布日期 2001.05.03
申请号 DE19976003076T 申请日期 1997.03.25
申请人 ASM LITHOGRAPHY B.V., VELDHOVEN 发明人 STRAAIJER, ALEXANDER;DE JAGER, ANDRE
分类号 G03F7/20;G03F7/22;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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