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发明名称
Mikromechanischer kapazitiver Ultraschallwandler und Verfahren zu dessen Herstellung
摘要
申请公布号
DE19922967(C2)
申请公布日期
2001.05.03
申请号
DE19991022967
申请日期
1999.05.19
申请人
SIEMENS AG
发明人
NIEDERER, KURT;ECCARDT, PETER-CHRISTIAN;MAIER-SCHNEIDER, DIETER
分类号
B06B1/02;B81B3/00;(IPC1-7):B06B1/02;H01L49/00
主分类号
B06B1/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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