| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING THE DEPENDENCE OF A FIRST MEASURED QUANTITY ON A SECOND MEASURED QUANTITY |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1095285(A1) |
申请公布日期 |
2001.05.02 |
| 申请号 |
EP19990936474 |
申请日期 |
1999.07.02 |
| 申请人 |
AMECON GMBH |
发明人 |
ORSCHEL, BENNO;HELM, JAN;SROCKA, BERND |
| 分类号 |
G01B7/34;G01R31/26;G01R31/265;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/265 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
