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发明名称
FEEDTHROUGH OVERLAP COIL
摘要
申请公布号
EP1095394(A1)
申请公布日期
2001.05.02
申请号
EP19990932143
申请日期
1999.06.30
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
GOPALRAJA, PRABURAM;XU, ZHENG;ROSENSTEIN, MICHAEL;FORSTER, JOHN, C.
分类号
H05H1/46;C23C14/34;H01J37/32;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):H01J37/32
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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