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发明名称 Autofocus z stage
摘要
申请公布号 AU4228900(A) 申请公布日期 2001.04.30
申请号 AU20000042289 申请日期 2000.04.11
申请人 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY 发明人 MATTHEW R. C. ATKINSON;ORLIN B. KNUDSON
分类号 G02B7/36;G02B7/28;G02B7/32;G02B21/18;G02B21/24;G02B21/26;(IPC1-7):G11B7/09;G01B11/24 主分类号 G02B7/36
代理机构 代理人
主权项
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