发明名称 APPARATUS FOR USE WITH VACUUM CHAMBERS
摘要
申请公布号 GB2014500(B) 申请公布日期 1982.02.10
申请号 GB19790006960 申请日期 1979.02.27
申请人 DOBSON C D 发明人
分类号 H01L21/687;(IPC1-7):H01J37/20 主分类号 H01L21/687
代理机构 代理人
主权项
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