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发明名称 Laser mit verbesserter Strahlqualität und verringerten Betriebskosten
摘要
申请公布号 DE69704219(D1) 申请公布日期 2001.04.19
申请号 DE19976004219 申请日期 1997.01.02
申请人 CYMER, INC. 发明人 WATSON, TOM A.;FOMENKOV, IGOR V.;PARTLO, WILLIAM N.;DERUYTER, ANTHONY J.;LARSON, DONALD G.;DAS, PALASH P.
分类号 H01S3/03;H01S3/036;H01S3/04;H01S3/041;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/036 主分类号 H01S3/03
代理机构 代理人
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