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发明名称
摘要
申请公布号
JP3156002(B2)
申请公布日期
2001.04.16
申请号
JP19970069394
申请日期
1997.03.24
申请人
发明人
分类号
H01L21/306;G06F17/50;G06T1/00;H01L21/00;H01L21/205;(IPC1-7):G06F17/50
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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