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发明名称
METHOD FOR PRODUCING THIN SUBSTRATE LAYERS
摘要
申请公布号
EP1090422(A1)
申请公布日期
2001.04.11
申请号
EP19990939373
申请日期
1999.06.22
申请人
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER
发明人
HABERGER, KARL;PLETTNER, ANDREAS
分类号
H01L21/306;H01L21/20;H01L21/301;H01L21/3063;(IPC1-7):H01L21/78
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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