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发明名称 Microelectronic integrated sensor and method of manufacturing the same
摘要
申请公布号 EP0766090(B1) 申请公布日期 2001.04.11
申请号 EP19960114618 申请日期 1996.09.11
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 MUELLER, KARLHEINZ, ING.;KOLB, STEFAN, DIPL.-ING.
分类号 G01P15/125;B81B3/00;G01P15/08;H01L29/84;H01L49/00;(IPC1-7):G01P15/08 主分类号 G01P15/125
代理机构 代理人
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