| 发明名称 |
Server monitoring in a semiconductor factory automation system |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2355092(A) |
申请公布日期 |
2001.04.11 |
| 申请号 |
GB20000015351 |
申请日期 |
2000.06.22 |
| 申请人 |
* HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
YOUNG-JIN * KIM |
| 分类号 |
H01L21/02;G05B19/042;G06F11/30;(IPC1-7):G06F11/32 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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